ulvac真空計的故障排除

發布時間：2022-10-18　點擊量：1403

ulvac真空計的故障排除

使用注意事項

1.由于靈敏度是用氮氣校準的，如果殘留氣體的主要成分不是氮氣，則顯示值與實際壓力不同。

2.當測量含有氧氣或水蒸氣的氣體時，燈絲會迅速反應并劣化。
為了減少消耗，要么降低發射電流，要么使用具有三層涂層表面的燈絲。

3.在測量10 -4 Pa 或更低的壓力時，需要對探頭本身進行脫氣。
開始脫氣時，大量釋放的氣體會增加壓力，反過來可能會污染探頭。請務必在 10 -4 Pa 以下進行脫氣。

4.請注意，在高壓（三極管型：10 -1 Pa 或更高）下連續使用會導致燈絲快速磨損，從而無法獲得恒定的發射電流。

1.探頭燈絲不亮
2.探頭燈絲發出異常光（燈絲瞬間亮后熄滅54.燈絲亮但不顯示壓力
3.比平時亮）指示值波動6.指示值與預期壓力明顯不同7.未輸出設定值信號

1.寫筆燈絲不亮

2.探頭燈絲發出異常光（比平時亮）

3.燈絲亮但不顯示壓力

原因	解決方法
探頭電纜斷開	探頭電纜的維修和更換
控制器故障	要求維修

4.燈絲亮片刻，然后快速熄滅

原因	解決方法
保護電路工作是因為被測壓力很高。	用皮拉尼真空計等檢查壓力。
控制器故障	要求維修

5.指標波動

原因	解決方法
探頭或連接探頭的連接處出現真空泄漏	更換手寫筆或改善連接處的真空泄漏
觸控筆上的污染	接點更換
探頭電纜在振動	如果探頭電纜不斷振動，指示值可能會因探頭電纜內部的摩擦電動勢而波動，因此請重新考慮電纜安裝方法。

6.指示值與預期壓力有顯著差異

7.無設定點信號輸出

原因	解決方法
更換控制器中的繼電器	繼電器損壞 → 要求維修
發射電流失控	如果發射變為 NG，設定值信號的輸出也會被取消 → 更換測針

8.停止發射電流流動的原因及對策